Informace o projektu
Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
- Kód projektu
- GA202/07/1669
- Období řešení
- 1/2007 - 12/2011
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Mgr. Oto Brzobohatý, Ph.D.
- doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- prof. RNDr. Josef Havel, DrSc.
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.
- doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
- prof. RNDr. David Trunec, CSc.
- doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Klíčová slova
- PECVD, dvojfrekvenční kapacitní výboj DF CCP, nanostrukturovaný DLC, thermomechanická stabilita
- Spolupracující organizace
-
Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Vratislav Peřina, CSc.
- Odpovědná osoba Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Podstatou navrhovaného projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvojfrekvenčního kapacitního plazmatu (DFCCP). Kombinací vysokofrekvenčního buzení, které zajišťuje stabilitu a vysokou hustotu plazmatu, a nízkofrekvenčního buzení, kterým lze nezávisle kontrolovat energii iontů, chceme dosáhnout kontrolovaného růstu vrstev. Předmětem studia bude nalezení optimální kombinace vysokofrekvenčního a nízkofrekvenčního (kontinuálního nebo pulzního) buzení umožňujíci rovnoměrně pokrýt nerovné, stupňovité povrchy substrátů i podstatné snížení vnitřního pnutí ve vrstvách. Je plánovaná komplexní diagnostika DFCCP i počítačová simulace pro popis a pochopení procesů probíhajících se během depozice. Připravené vrstvy budou rozsáhle charakterizovány jak z hlediska jejich struktury (RBS, ERDA, TOF ERDA, HRTEM, SEM atd.) tak i z hlediska jejich vlastností (např. ellipsometrie, spektrofotometrie, mikro- a nanovtiskové testy). Termální stabilita vrstev bude studována metodou termální desorpční spektroskopie.
Publikace
Počet publikací: 70
2010
-
Monitoring of PVD, PECVD and etching plasmas using Fourier components of RF voltage
Plasma Physics and Controlled Fusion, rok: 2010, ročník: 52, vydání: 12, DOI
-
Multilayered transparent polymer protective coatings using PECVD
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
Optical and mechanical characterization of ultrananocrystalline diamond films prepared in dual frequency discharges
Surface & coatings technology, rok: 2010, ročník: 204, vydání: 12-13
-
PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF DLC:N FILMS
2nd International Conference Nanocon 2010, rok: 2010
-
Preparation of multifunctional layered materials
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
2009
-
Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films
Diamond and Related Materials, rok: 2009, ročník: 18, vydání: 2-3
-
Gold carbides laser ablation synthesis and mass spectrometry
Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostic 8, rok: 2009
-
Characterization of non-uniform diamond-like carbon films by spectroscopic ellipsometry
Diamond and Related Materials, rok: 2009, ročník: 18, vydání: 2-3, DOI
-
Laser ablation time-of-flight mass spectrometry (LA-TOF-MS) of silicon doped diamond-like carbon (DLC-Si)
Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8, rok: 2009
-
Limitations and possible improuvements of DLC dielectric response model based on parameterization of density of states
Diamond and Related Materials, rok: 2009, ročník: 18, vydání: 2-3