Investigation of spokes in reactive HiPIMS using Ar/N2 atmosphere

• Authors: KLEIN Peter; HNILICA Jaroslav; FEKETE Matej; ŠLAPANSKÁ Marta; VAŠINA Petr
• Year of publication: 2021
• Type: Appeared in Conference without Proceedings

Related projects

• Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev